設(shè)備介紹
1、 激光束非接觸工作，無(wú)機(jī)械應(yīng)力，避免材料崩邊、碎裂或變形。熱影響區(qū)小，斷面平滑、無(wú)微裂紋。
2、 采用高精度運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)與視覺(jué)定位，實(shí)現(xiàn)微米級(jí)加工。光束質(zhì)量好，能產(chǎn)生極細(xì)光斑。
3、 切割速度快，模塊化與封閉光路設(shè)計(jì)保障24小時(shí)連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。
4、 配備專用軟件，可靈活設(shè)計(jì)、顯示劃片路徑，易于集成自動(dòng)化產(chǎn)線。
適用材料：
各類硅片（單晶硅、多晶硅、非晶硅）；其他半導(dǎo)體材料（如砷化鎵、碳化硅、藍(lán)寶石襯底等）；精密脆性材料（如陶瓷、石英玻璃）
適用行業(yè)：
光伏行業(yè)：太陽(yáng)能電池硅片的劃片與切割；半導(dǎo)體行業(yè)：集成電路晶圓的芯片分割；其他高精領(lǐng)域：LED、光電子、醫(yī)療器件等